اینتل اولین ابزار ساخت تراشه‌های EUV با NA بالا را از ASML دریافت کرد
در یک اعلامیه جذاب، اینتل اعلام کرد که اولین اجزای اصلی ابزار لیتوگرافی فرابنفش فوق العاده (EUV) شرکت ASML را دریافت کرده است. دو شرکت به زودی شروع به تجمیع این دستگاه خواهند کرد و اینتل امیدوار است که اولین شرکتی باشد که از تجهیزات High-NA EUV برای تولید انبوه تراشه‌ها در سال‌های آینده استفاده کند.
قبلاً در مطلبی پوشش داده بودیم که ASML اعلام کرده بود که شروع به ارسال این ابزار به اینتل کرده است.
در ماه‌های آینده، این ابزار در کارخانه تحقیقاتی D1X Mod3 اینتل تجمیع خواهد شد، جایی که مهندسان این شرکت یاد خواهند گرفت که چگونه از این ابزار برای تولید تراشه‌ها با استفاده از فناوری ساخت 18A شرکت استفاده کنند.
دستگاه‌های لیتوگرافی High-NA EUV به لنز 0.55 NA (High-NA) مجهز شده‌اند که می‌توانند رزولوشن 8 نانومتر را به‌دست آورند، این امر بهبود قابل توجهی نسبت به ابزارهای EUV موجود دارد که لنز 0.33 NA (Low-NA) آنها، رزولوشن 13 نانومتری را ارائه می‌دهد.
بهبود رزولوشن برای فناوری‌های پس از 2 نانومتری حیاتی خواهد بود که به یکی از دو روش Low-NA EUV double patterning یا High-NA EUV single patterning نیاز دارند. این شرکت قصد دارد که دستگاه Twinscan EXE:5000 را نصب کند که می‌تواند 150 تکه وافر را در هر ساعت (با دوز 30 میلی‌ژول بر سانتیمتر مربع) با عملکرد <1.1 نانومتری از هم‌پوشانی دستگاه ارائه دهد.
این دستگاه اصولاً برای یادگیری چگونگی استفاده از High-NA EUV با فناوری ساخت 18A اینتل استفاده خواهد شد، اما تولید انبوه واقعی (HVM) از نود پس از 18A با استفاده از دستگاه‌های Twinscan EXE:5200 از ASML آغاز خواهد شد. اینتل می‌خواهد رهبری فناوری ساخت خود را پس‌بگیرد و امیدوار است که این کار را با 18A انجام دهد.
این اقدامات نشان می‌دهد که اینتل به‌طور جدی به دنبال بهبود فناوری ساخت تراشه‌ها و افزایش توانایی تولید انبوه آنها است. این تحولات می‌تواند تأثیر عمیقی بر صنعت تکنولوژی و تولید الکترونیکی داشته باشد و به ایجاد تراشه‌های با کیفیت و عملکرد بالاتر کمک کند.
این شرکت با گره‌های پس از تولید 18A مجهز به High-NA، نه تنها امیدوار است که قدرت، عملکرد و رهبری منطقه را حفظ کند، بلکه اساساً استانداردهای خود را در مورد تولید High-NA ایجاد کند.
این می‌تواند یک مزیت استراتژیک نسبت به رقبای خود باشد، درست مانند کار مسیریابی TSMC با اولین ماشین‌های Low-NA که به آن کمک کرد تا برتری خود را نسبت به اینتل حفظ کند.
